08 Maseveon állomás + LC gáztalanító egység

Masevon Station Chamber Up-Down + + LC Degassing Unit

1. Bevezetés:
1. Ez a dokumentum leírja a funkcionális követelményeket a;
1.1. LC tálcás gáztalanító kamra
1.2. Az LC tálcás gáztalanító kamra egy (vezérelt vákuumkamra), amelyben
LC folyadékot tartalmazó alumínium tálcát vákuumban gáztalanítanak
környezet egy bizonyos ideig (azaz a beszorult levegőt evakuálják)
Vákuumos profilok;
1.1. A nyomás alapértékei 1,103 és 1,10-3 mBar között állíthatók
1.1.1. Mérési tartomány: 1,103 – 5,10-4
1.2. Az időbeállítási pontok lépésenként 1 és 600 perc között állíthatók
1.2.1. A (D) gáztalanítási lépés percektől napokig tarthat
1.3. Az evakuálási és szellőztetési sebességnek ellenőrizhetőnek kell lennie
1.4. Az evakuálási ciklus (A – D) automatikusan végrehajtásra kerül
1.4.1. A légtelenítő lépést (E) manuálisan kell aktiválni (kezelő)
1.5. Tipikus gáztalanító profil
2.Belső;
2.1. Rozsdamentes acél (alumínium) polírozott technológiai kamra (belül)
2.1.1. A szivárgás mértékét meg kell vitatni
Prsdswam Saepfx Aaded
2.2. LC-tálca (adaptációs) fiók az LC-tálca könnyű (ki)töltéséhez (nem rázkódik
mozgás megengedett), lásd a 2. szakaszt, az LC-tálca méretei és az 1. függeléket
2.3. Az LC tálcának mindig vízszintesnek kell lennie (waterpas), hogy elkerülje az LC kiömlését
2.4. A kamrának könnyen/gyorsan hozzáférhetőnek kell lennie a tisztításhoz és/vagy az LC-tálcához
(kirakodás
2.5. A kamra belsejét polírozni kell, hogy könnyen tisztítható és megelőzhető legyen
szennyeződés és/vagy nedvességgyűjtés
2.6. A gáztalanítási ciklus felügyeleti (ablak) lehetősége, azaz az LC monitorozása
folyadékfelület viselkedése az LC tálcában
2.7. Nincs a kamra anyaga által okozott folyamatszennyeződés (gyártás)

A hirdetés automatikusan került lefordításra, éppen ezért fordítási hibák előfordulhatnak.