Wafer front-end modul 300 mm
BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter

Rögzített ár nem tartalmazza az áfát
59 750 EUR
Gyártás éve
2010
Kondíció
Használt
Helyszín
Dresden Németország
Fényképek megjelenítése
Térkép megjelenítése

Adatok a gépről

Gépismertető:
Wafer front-end modul 300 mm
Gyártó:
BROOKS ASYST
Modell:
Spartan EFEM Sorter
Gyártás éve:
2010
Kondíció:
használt

Ár és helyszín

Rögzített ár nem tartalmazza az áfát
59 750 EUR

Helyszín:
Heilbronner Str. 22, 01189 Dresden, Deutschland Németország
Hívás

Ajánlat részletei

Jegyzékazonosító:
A20798077
Referenciaszám:
LW43278
Utoljára frissítve:
ekkor: 19.12.2025

Leírás

Brooks Automation Wafer elülső modul, 300 mm, ASYST Spartan EFEM, válogató

Modell: ASYST Spartan EFEM
Típus: Válogató
Állapot: Használt

Műszaki adatok:
100–240V AC
50/60Hz
10A

Általános ismertető:
Iijdpfx Aox I Ax Sjfqok
300 mm EFEM három betöltőporttal, tisztatéri mini környezettel és integrált wafer átadó robottal

Ez a berendezés egy ASYST Spartan sorozatú EFEM (Equipment Front End Module), amelyet 300 mm szilícium wafer-ek teljesen automatizált kezeléséhez fejlesztettek ki félvezetőgyártási alkalmazásokhoz.
Három betöltőporttal, ULPA szűrős mini környezettel, belső világítással, átfogó biztonsági vezérléssel és minden szükséges interfésszel rendelkezik a rendszerintegrációhoz.
Továbbá egy teljesen integrált wafer átadó robot is be van építve, amely a FOUP/kazettás betöltőportokból veszi ki, szétválasztja és pontosan továbbítja a wafer-eket a következő feldolgozó modulokhoz.

Gyártási év: 2010.12.27.
Tartozék: CD a kezelési, szervizelési és telepítési kézikönyvekkel (9701-3060-01 Rev G)

A hirdetés automatikusan került lefordításra, éppen ezért fordítási hibák előfordulhatnak.

Szállító

Regisztrált ekkor: 2014

500 Hirdetések online

Trustseal Icon

Telefon & Fax

+49 351 8... hirdetések